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微型高低溫真空探針臺(tái)高低溫真空探針臺(tái)冷熱臺(tái) 加裝真空位移拉伸夾具 實(shí)現(xiàn)對(duì)柔性傳感材料在不同溫度 濕度 氣體濃度 壓力和位移條件下的電學(xué)信號(hào)測試 位移控制分辨率≤5微米 行程20mm 位移過程可采集樣品信號(hào) 熱臺(tái)溫度范圍 高溫60℃低溫-60℃ 機(jī)械泵極限真空小于1Pa

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真空手動(dòng)探針臺(tái)變溫射頻探針熱臺(tái)該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺(tái)面，探針頂尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測試儀器來測試電學(xué)信號(hào)。

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